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发布时间:2020-10-07 04:46:10
广州帕纳光电科技有限公司----Agilent TV301销售中心;
有防护网保护,为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内?
原因:防护网,前级管道
解决方法:优化系统设计
真空度很好的情况下,分子泵油为何会返到前级管道?
原因:油池或密封不良
解决方法:检查油池
轴承装配不良
处理方法:按要求检查轴承装配情况,消除不合要求因素;
冷却水断路
处理方法:检查、修理;
轴承磨损或松动
处理方法:修理轴承或报废。
若松协,复紧有关螺栓;泵轴弯曲
处理方法:矫正泵轴;
甩油环变形,甩油环不能转动,带不上油
处理方法:更新甩油环;
机械密封检修中的几个误区
弹簧压缩量越大密封效果越好。其实不然,弹簧压缩量过大,可导致摩擦副急剧磨损,瞬间烧损;过度的压缩使弹簧失去调节动环端面的能力,导致密封失效。
动环密封圈越紧越好。其实动环密封圈过紧***无益。一是加剧密封圈与轴套间的磨损,过漏;二是增大了动环轴向调整、移动的阻力,在工况变化频繁时无法适时进行调整;三是弹簧过度疲劳易损坏;四是使动环密封圈变形,影响密封效果。
分子泵是否对冷却有明确要求?如风冷需要外界温度是多少?如水冷则对水有何具体要求?如未达到要求会出现何后果?
答:注意水温和水流量,冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。
分子泵电源存在接地、屏蔽等问题,应如何做才是方式?
答:电源本身有接地线,只需要保证市网有良好接地就可以了;屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。
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分子泵在半导体机械设备中的运用
在半导体材料生产加工加工工艺中,分子泵广泛运用于光刻技术、塑料薄膜堆积机器设备、离子注入机器设备、离子注入机等主要设备。Agilent TV301销售中心
光刻技术是生产制造规模性集成电路芯片的关键机器设备,生产制造和维护***必须高宽比的电子光学和电子工业基本,全世界仅有数生产厂家把握,因而光刻机价格价格昂贵。光刻技术光刻技术全过程务必在高真空中完成,缘故是极紫外线很娇气,在空气中非常容易耗损。另外,在光刻技术全过程中,机器设备的姿势时间误差以皮秒激光计,这对磁悬浮分子泵的震动值规定极高。升级完成的安捷伦生产流程管理系统,和新增的大量自动化生产装配工艺和设备,保证了产品的一致性,和质量的稳定性。(注:皮秒激光=兆分之一秒)Agilent TV301销售中心
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